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全球光刻机主要厂商是哪几家?中国国内生产光刻机的企业有哪些

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2021-12-10

全球四大光刻机生产商如下:

1.上海微电子

上海微电子简称SMEE,主要致力于半导体装备泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。

2.荷兰ASML

ASML是一家总部设在荷兰埃因霍芬(Eindhoven)的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。

ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。

3.佳能

佳能是日本的一家全球领先的生产影像与信息产品的综合集团,佳能光刻机22纳米 ,光刻机是制造微机电、光电二极体大规模集成电路的关键设备。光刻机可以分钟两种,分别是模板和图样大小一致的contact aligner ,曝光时模板紧贴芯片;第二是类似投影机原理的stepper ,获得比模板更小的曝光图样。

4.尼康

尼康(Nikon),是日本的一家著名制造商,成立于1917年。尼康作为世界上能够制造商用光刻机的公司,似乎在这个领域不被许多普通人知道,许多人只知道尼康的相机做的好,却不知道尼康光刻机同样享誉全球。

在光刻机领域一家独大的荷兰光刻机巨头ASML,一家垄断了第五代光刻机EUV光刻机,这类光刻机用于制造7nm以下先进制程的芯片。

能够高效做出7nm、5nm先进制程芯片的EUV光刻机,撑起了ASML业绩的半壁江山。2020年ASML对外销售了31台EUV光刻机,带来了45亿欧元(折合352.52亿元)的收入,占全年销售额的32.14%。每台折合11.37亿元的EUV是一个庞然巨物,媒体经常引用的一组数据是,“单台设备超过十万个零件,软管加起来就有两公里长。这么一台庞大的设备,重量足足有180吨,单次发货需要动用40个货柜、20辆卡车以及3架货机”。

国内光刻机

中国市场的半导体销售占了全球的三分之一,半导体进口替代需求迫切。

上海微电子,国产光刻设备龙头

据国泰君安研报,上海微电子是国内技术最领先的光刻设备厂商。目前公司IC前道光刻机水平与ASML差距明显,但是不断取得阶段性的成果,已经实现90 nm制程。公司已经实现从低端切入市场,在细分市场中具有高国内市场占有率。公司拥有先进的封装光刻机技术,目前已成为封测龙头企业的重要供应商,国内市场占有率高达80%,全球市场占有率达40%。公司LED/MEMS/功率器件光刻机性能指标领先,LED光刻机市占率第一。

根据公司官网,公司目前有4个系列光刻机产品,目前所生产的600系列光刻机,已经能够满足90nm芯片生产,可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。

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